蒸发源及其设计与使用中应考虑的问题
文章作者：广东振华科技
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发布时间：2024-02-28
在真空蒸发镶与真空离子镇的过程中，将膜材登于 1000°C~2000°C 高温下，使其燕发汽化的装置，称为蒸发源。蒸发源种类较多，蒜发源汽化膜材的原理也各不相同。但是，就其应用特点而言，在设计或应用时，主要应考虑如下几方面问题：
①蒸发源应满足膜材蒸发时具有较大的蒸发速率，并且能存储足够数量的膜材；
②蒸发源应具有较好和较长的使用寿命；
③蒸发源的使用范围应当广泛，既可蒸发金属或合金（如 Al、Ti、Fe. Co. Cr）也可蒸发化合物（如 SiO、SiO2、Zns 等）；
④蒸发源在结构上应力求简单、易手制作、使用维护方便、运转费用低廉。
——本文由蒸发镀膜设备厂家广东振华发布
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