基片与薄膜的选择原则

文章作者:广东振华科技
阅读:1091
发布时间:2024-01-31
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    在游膜制备过程中,基片可根据以下几个力面进行选择:

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①平盤度商,适于游膜的生长:

②根据不同的应用目的,选择金展或合金、玻璃、陶瓷和塑料等作为基片;

③基片材料结构与薄膜结构相对应:

④基片材料与薄膜性能相匹配,减少热应力,以防薄於脱落:

⑤考虑市场供应情况、价格和加工难易程度等。

薄膜的选择原则:①基片和薄膜材料的化学相容性。最理想的化学相容性,足指薄膜在制备过程中,界面性能不发生退化,物相在界面上不发生有害的化学反应,不产生弱化相,②基片和薄膜材料的物理相容性。物理相容性主要指基体和薄膜材料在热膨胀系數、弹栍模量、泊松比以及晶格當数等方面的匹配,其结果直接影响薄股材料内部残余应力的分布,进而影响到薄膜的力学性能。

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