基片的表面形貌、热膨胀系数对薄膜的影响

文章作者:广东振华科技
阅读:549
发布时间:2024-01-31
返回上一级

  基片表面形稅对游膜的生长有着非常重要的彩响。若基片的表面相糙度超来超大,绪合面缺陷也会越来越多,会影响薄膜的附着和生长速率。因此,在真空镂膜开始前,会对基片进行预处理,起到在清洗基片的同时,增大基片表面粗糖度的作用。经过超声波預处理后,基片表面会形成徽小划痕,增大了薄膜顆粒与基片表面的接触面积,可以显著提高轉膜的形核街度和膜基结合力。


大图.jpg


  对于不同的基体材料,基片表面粗糙度对手膜基结合力的影响不可一概而论;但对于大部分的基体材料来说,随着基体粗糙度的诚小,薄膜附着力增大,即膜基结合力变强;也有一些基体材料是特例,如肉瓷基的薄膜附着力随着基底粗糙度的城小而减小,即膜基结合力变弱。

  在基片与薄膜匹配的影响因素中,热膨账系数起着决定性作用。当薄膜的热膨胀系数大于基体的热膨胩系数时,力矩为负,在自由边界处受最大的张应力,靠近中心张应力诚小至变为压应力,薄膜可能出现分层现象。以沉积金刚石薄膜为例,由于金刚石的热膨账系数很小,当气相沉积结束后,基体温度从较高的沉积温度降到室温时,金刚石的收缩要比基体的收缩小,这样一来在金刚石膜内会产生较大的热应力。当溡膜的热膨账系數小于 廷体的热膨账系数时,力矩为正,薄膜不易出现分层现象。

分享文章到: