铝膜可以用钨丝、钼舟、钽舟、电子東等蒸发方法制备。铝是金属膜中唯一从紫外(0.2mm)到红外(30mm)波段均具有较高反射率的材料,在0.85 pm 附近反射率存在一个极小值,约85%。铝膜对玻璃衬底的附着力较好,机械强度和化学稳定性相对较好,可以满足在多种场合下用作外反射膜。铝膜表面易形成氧化铝层,导致紫外波段的反射率下降,可以用氟化镁作为紫外区铝反射镜的保护层。较高的原料纯度和较快的蒸发速度有利于在紫外区获得较高的反射率。在可见光区,常用 Si0 作为保护层的初始材料,在氧气氛围下缓慢蒸发 Si0 获得 Si0.,膜层光学厚度约为500nm的 1/2。升高沉积温度或许对提高薄膜附着力有利,但是50℃以上的沉积温度会造成反射率的显著降低。银膜可以用钨舟、钼舟、钽舟、电子東等蒸发方法制备。银膜的优点是在可见与红外波段均具有最高的反射率,用作分光薄膜有良好的中性和很小的偏振差异。缺点是紫外区反射率低,与玻璃的附着较差,机械强度和化学稳定性不佳,易于化或者硫化,常用作胶合零件和内反射零件,用作外反薄膜需要选择合适的保护层。ALO,与银膜间有很高的附着力,常用作银膜与玻璃衬底之间的附着力增强层,以及表面的保护层。采用的膜系为 GIAL,0,-Ag-A1,0,-Si0,1A,其中厚度为 30~40nm,Si0 厚度补足到设计波长的 1/2。离子東辅助蒸发有助于获得致密光滑的银膜,提高其牢固度和短波反射率。

    金膜可以用钨舟、钼舟、电子東等蒸发方法制备。金膜只有在波长大于 800nm 的红外区才表现出高反射特性,薄膜自身拥有良好的化学稳定性,所以常用作红外系统中的外反射镜。金膜与玻璃的附着力不高,可以用铬或者钛作为附着力增强层。新蒸发的金膜往往较软,经过一周的放置以后硬度会有所增加。由于其化学稳定性好可以不加特别的保护层。

较快的沉积速度和 100~150℃的沉积温度有助于获得牢固性好的金膜。

    铬膜可以用钨舟、电子東等蒸发方法制备。铬膜的最大优点是其在可见光区的分光特性几乎呈中性,在玻璃上的牢固性极佳,吸收特性受沉积条件的影响较小,提高沉积温度有助于提高其反射率。铬膜光学特性的长期稳定性好,缺点是吸收较大,用作1:1分光膜时吸收达 40%。铬膜常用在光栅、度盘中制作线条或者掩模的阻光材料。

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