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2023-11
光学薄膜的表征
光学薄膜的表征包含光学特性的表征、光学参数的表征及非光学特性的表征，其中，光学特性主要是指光学薄膜的光谱反射、透射及光学损耗（吸收损耗和反射损耗）特性。透射率与反射率是光学薄膜最基本的光学特性，因而薄膜透射率与反射率的测试是光学薄膜的基本测试技术。
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2023-10
离子束溅射镀膜和离子束刻蚀
1.离子束溅射镀膜
用中等能量的离子束轰击材料表面，离子具有的能量使之进入不了材料的晶格中，而是把能量传递给靶材原子，使其产生溅射作用飞离材料表面，而后在工件上沉积形成薄膜。
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2023-10
同轴电磁场型离子镀膜机
1.空心阴极离子镀膜机和热丝弧离子镀膜机
空心阴极枪、热丝弧枪安装在镀膜室顶端，底端安装阳极，镀膜室周边的上下安装两个电磁线圈。弧光电子流从上向下做螺旋线运动。
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2023-10
金属有机化合物气相沉积技术
金属有机化合物气相沉积技术 (metal organic chemical vapor deposition， MOCVD），采用的气态物质源是金属有机化合物气体，沉积的基本反应过程与CVD相似。
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