随着计算机技术的发展,硬磁盘存储密度越来越高,这要求磁头与磁盘的间隙变小,磁头与磁盘在使用中因频繁接触、碰撞而产生磨损。为了保护磁性介质,要求在磁盘上沉积一层既耐磨又足够薄且不致于影响其存储密度的膜层。用RF-PCVD方法在硬磁盘上沉积了40nm的DLC薄膜,发现有Si 过渡层的膜层与基体结合强度高,具有良好的保护效果,且对硬磁盘的电磁特性无不良影响。

    DLC薄膜在电子学上也很有应用前景。采用DLC薄膜作为绝缘层的MIS结构可用于电子领域的许多方面,可用于反应速度快的光敏传感器,也可用于极敏感的电容传感器。另外外,DLC薄膜在电学上也是场发射平面显示器冷阴极的极好材料。金双内国

    (2)DLC薄膜在光学领域的应用

    在光学方面,DLC薄膜可用作增透保护膜。Ce是在8~12um范围内通用的窗口和透镜材料,但其容易被划伤和被海水浸蚀。在Ge表面镀一层DLC薄膜,可提高其红外透射率和耐腐蚀性能。但是,一般 DLC薄膜在可见光范围内的透光性较差,限制了它在光电器件上的应用。此外,研究类金刚石薄膜在激光作用下的损伤及损伤机制表明,KC1基片上沉积DLC薄膜后,连续CO,激光损伤闽值可高达7.4kW/cm’。木林据宁简那隆设海明

    (3)DLC薄膜在医学领域的应用

    DLC薄膜在医学上可作为人工心脏瓣膜,而且具有相当好的生物相容性。目前,美国ART公司利用 DLC 薄膜表面能小、不润湿等特点,通过掺人 Si0,网状物并掺人过渡金属元素以调节其导电性,生产出不粘肉的高频手术刀,明显改善了医务人员的工作条件。此外,很多人工关节由聚乙烯的凹槽和金属与合金(钛合金、不锈钢等)的凸球组成。关节的转动部分接触界面会因长期摩擦而产生磨屑,与肌肉结合会使肌肉变质、坏死。DLC薄膜无毒、不受液体浸蚀,镀在人[关节转动部位上的 DLC薄膜不会因摩擦而产生磨屑,更不会与肌肉产生反应,可大幅度延长人工关节的使用寿命。

——本文由光学镀膜设备厂家广东振华发布