1.空心阴极离子镀膜机和热丝弧离子镀膜机

    空心阴极枪、热丝弧枪安装在镀膜室顶端，底端安装阳极，镀膜室周边的上下安装两个电磁线圈。弧光电子流从上向下做螺旋线运动。

2.永磁体加电磁控的小圆形阴极电弧源

    电磁线圈加速弧斑在靶的周向做旋转运动，减少了弧斑在靶面的停留时间，减小了熔池面积，细化了膜层组织。

3.双电磁控阴极电弧源

    阴极电弧源配置两个电磁线圈，提高了电子流的旋转速度，细化了膜层组织。

4.磁控电子回旋 PECVD

    在直流 PECVD镀膜室外安装上下两个电磁线圈，使电子做旋转运动，增加了电子与气体的碰撞概率，提高了膜层粒子的离化率。

5.ECR 微波 PECVD

    在镀膜室外安装上下两个电磁线圈，可提高离化率。

6.弧光放电PECVD

    在弧光放电 PECVD 设备镀膜室周边的上下安装两个电磁线圈，沉积金刚石膜时，同轴电磁场可将弧光电子流旋转起来激励碳氢化合物的气体电离。

——本文由离子镀膜机厂家广东振华发布