等离子体表面改性的特点
文章作者:广东振华科技
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发布时间:2023-06-06
高能态的等离子体对高分子材料进行轰击、照射,可以打断高分子材料的分子链、形成活性基团、增加表面能、产生刻蚀等。等离子体表面处理对本体材料内部结构、性能不产生影响,只是表面性能发生很大改变。
为了不损坏材料本身的特性,等离子体表面改性处理通常不使用较大功率密度的等离子体。这种处理和其他等离子体处理的区别在于:
1)不向处理表面注入离子或原子 (如离子注入)。
2)不去除较大块的材料(如溅射或刻蚀)。
3)不向表面增加超过几个单(原子)层的物质 (例如沉积)。
总之,等离子体表面处理涉及的只是最外几个原子层。
等离子体表面改性的工艺参数主要有气体压力、电场频率、放电功率、作用时间等,工艺参数易于调节。等离子体改性过程中,许多活性粒子易于和所接触的处理表面发生反应,可以用来对材料表面进行处理。和传统方法相比,等离子体表面改性具有工艺方法简单、操作简便、成本低、无污染、无废弃物、生产安全、效率高等优点。
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