一、真空泵配件有：

1. 油雾过滤器（别名：油雾分离器，排气过滤器，排气滤芯） 

真空泵油雾分离器在推动力的作用下，位于一侧的油气混合物中的通过真空泵油雾分离器的滤纸及棉质。油则被截留，从而实现气体与真空油的分离操作过程。被过滤掉的真空泵油随着回油管进行循环利用，排出的则是无油的废气，而达到无污染，洁净的效果。

2. 空气过滤器（别名：空气滤芯 ）  

真空泵的滑动的空隙很小，外来的介质含颗粒、污垢，会破坏滑动面，豁附或阻塞泵的滑动面，造成泵不能正常工作。为了防止外来物被吸人泵中，需要使用过滤器来阻挡其进人泵中。万一有空气杂质没有过滤清掉，进入泵浦内，可能导致油管堵塞，润滑油变混，所以选择空气滤芯，必要要选择原则正品。 后期保养和维修：使用真空泵空气过滤器要定期清理，防止停留在过滤器的杂质吸入泵浦内造成泵浦卡死等现象发生。 

3. 油过滤器（别名：油格）

油格又名油过滤器，真空泵油过滤器是很多进口真空泵品牌配置的油过滤装置，设置在泵浦回油管路上，主要用途是在回油箱中捕获体系内发生或者是侵入的污染物。因此它也是控制体系污染浓度的重要的过滤装置。 

二、真空泵配件常见的失效情况

1、磨损

磨损是真空泵配件常见的一种失效模式，一种是在有润滑条件下，零部件之间接触表面的摩擦磨损，常发生在齿轮、缸体、叶片、转子滑动轴承、滚动轴承中。这类磨损速度缓慢，磨损失效主要与润滑、密封条件有关。另一种是在无润滑条件下，零件相互摩擦或物料对零件表面摩擦所造成的磨损，这在真空泵中尤其突出。如联轴器、2X泵的皮带轮、螺杆真空泵的双螺杆等等。这类磨损速度比前者快得多，主要与金属材料性能与物料性质有关。对于油式真空泵来讲，润滑中的磨损尤为突出，大多由于真空泵油变质，以及外来杂质导致润滑不畅导致。

2、疲劳破断

疲劳是一种失效机理，产生裂纹是一种失效模式。它们常常最后导致零件的破断。这种疲劳破断失效过程一般都存在于受交变负荷的轮齿件中。常见于联接螺栓、地脚螺栓、弹簧等零件，也会发生齿轮传动轴等重要零件中。疲劳破断所牵涉的因素很多，需要针对失效零件作具体分析，找出原因采取对策。

3、变形

变形也是真空泵零件常见的一种失效模式。由于泵浦在高速运行时会产生一定的高温。诸如壳体、板件等常处于受热状态，最易发生。逐步产生的塑性变形，不能恢复零部件原有的几何尺寸与形状，严重时将造成设备故障。如密封圈，油封等。

4、腐蚀

腐蚀是真空泵零件失效的又一种模式。常见于工艺较为复杂的PCB，化工等工况下运行的真空泵中。

以上这些配件都属于易损耗材，如出现以上的情况都需要对配件进行更换的。真空泵出现故障的时候，我们要进行排查处理，确定是其配件失效后，针对以上问题作出相应的解决措施。要想该设备使用寿命长一点，就要对其定期保养维修，减少其故障发生的频率。

磁控溅射镀膜生产线采用PLC与面板结合，设计了完备的功能菜单，实现整个生产线部件运行状态的全程监控，及工艺参数设置、运行保护和报警功能；整个电气控制系统安全、可靠和稳定。带有加热系统，真空抽气系统的真空隔断采用独立门阀，真空隔断十分可靠。真空室采用积木式结构，可按功能需求增加镀膜室。生产线抽气系统采用分子泵作为抽气主泵，真空室抽速稳定、快速，成本低。

主要用于平板玻璃、压克力、PET等产品上镀膜，可镀制各种金属膜，介质膜，介质金属复合膜，EMI屏蔽膜，不导电膜等膜层。