蒸发镀膜与磁控溅射是两种常见的物理气相沉积（PVD）技术，它们在原理、应用及特点上存在显著的区别。

一、原理区别

蒸发镀膜：

蒸发镀膜通过加热固态材料至高温，使其蒸发成气态，然后在真空环境中扩散，最后在基片表面凝结形成薄膜。

常用的蒸发源包括电阻加热、电子束加热和激光加热。

磁控溅射：

磁控溅射则是利用高能离子（通常是氩离子）轰击靶材表面，使靶材原子溅射出来，并在基片表面沉积形成薄膜。

在溅射过程中，电子在电场的作用下加速飞向基片，与氩原子碰撞电离出大量的氩离子和电子。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子。同时，磁场束缚和延长电子的运动路径，提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量。

二、应用及特点区别

蒸发镀膜：

优点：蒸发镀膜技术成熟度高，成膜速率快，成膜纯度高。

缺点：薄膜附着力一般，且对于高熔点材料，蒸发镀膜可能面临加热温度限制的问题。

应用领域：蒸发镀膜广泛应用于光学反射镜、滤光片、集成电路和太阳能电池等领域。

磁控溅射：

优点：磁控溅射制备的薄膜附着力强，重复性好，且由于磁场可控特性，膜厚也可控。

缺点：薄膜中间可能较厚，两边较薄，且对于磁性靶材，磁控溅射的效果可能受到影响。

应用领域：磁控溅射在制备高质量、高性能的薄膜材料方面具有重要应用，如光学薄膜、磁性薄膜、硬质薄膜等。

三、设备与技术差异

蒸发镀膜设备：

主要包括真空室、蒸发源（如电阻加热源、电子束加热源等）、控制系统和监测系统等。

磁控溅射设备：

通常包括真空室、靶材、离子源、磁场装置、控制系统和监测系统等。其中，磁场装置是实现磁控溅射的关键部件。

综上所述，蒸发镀膜与磁控溅射在原理、应用及特点上存在显著差异。选择哪种技术取决于具体的材料性质、薄膜性能要求和工艺条件。

——本文由磁控溅射镀膜设备厂家振华真空发布