14
2023-11
离子束的能量及作用
离子束能量范围分类
离子束的能量是在高压电场加速下获得的。其能量 (E)范围如下:
1)高能离子束能量,E=20~100keV,用于离子束注人和离子束混合。
2)中能离子束能量,E=500~1000eV,用于离子束射镀膜、离子束刻蚀镀膜前预轰击清洗。
3)低能离子束能量,E≤500eV,镀膜时进行辅助沉积
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03
2023-11
光学薄膜在生物医疗领域中的应用
在采用光谱分析的生物医学光学检测技术中,有三种有代表性分析方法紫外可见分光光度法(光电比色法)、荧光分析法、拉曼分析法,分别实现了组织、细胞、分子不同级别的生物医学检测。
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02
2023-11
光学薄膜的表征
光学薄膜的表征包含光学特性的表征、光学参数的表征及非光学特性的表征,其中,光学特性主要是指光学薄膜的光谱反射、透射及光学损耗(吸收损耗和反射损耗)特性。透射率与反射率是光学薄膜最基本的光学特性,因而薄膜透射率与反射率的测试是光学薄膜的基本测试技术。
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24
2023-10
离子束溅射镀膜和离子束刻蚀
1.离子束溅射镀膜
用中等能量的离子束轰击材料表面,离子具有的能量使之进入不了材料的晶格中,而是把能量传递给靶材原子,使其产生溅射作用飞离材料表面,而后在工件上沉积形成薄膜。
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